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Étude statistique de la fissuration des revêtements et modélisation du comportement mécanique de filmsdéposés sur des substrats Inox 316L

Published online by Cambridge University Press:  12 July 2008

Françoise Hugot
Affiliation:
Université de Limoges, ENSIL, 87068 Limoges, France
Éric Abgrall
Affiliation:
Université de Limoges, ENSIL, 87068 Limoges, France
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Abstract

L'essai de multifissuration consiste à étudier le réseau de fissures formé dans un revêtement. Le dispositif de flexion 4 points est retenu. Le nombre et la position des fissures sont relevés par microscopie optique en fonction de la déformation. Un traitement statique prenant en compte le caractère aléatoire de la rupture fragile et l'ordonnancement du réseau de fissures sous l'effet de la relaxation de contrainte permet de déterminer deux paramètres fondamentaux: la densité de probabilité de rupture (DPR) qui mesure la fragilité apparente et la taille de la zone relaxée (TZR) dont la valeur renseigne sur la qualité de l'interface entre le revêtement et le substrat pour donner une indication sur l'adhérence. La partie expérimentale concerne plus particulièrement l'étude de films d'alumine (Al2O3) déposés par RMPECVD (Remote Microwave Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) sur un substrat d'acier inoxydable (316L). Des corrélations entre paramètres de dépôt, préparation de surface et caractéristiques des films sont dégagées. La modélisation de l'essai à l'aide du code Abaqus® permet de visualiser la répartition des contraintes et de mettre en évidence l'influence de la présence de fissures.

Type
Research Article
Copyright
© AFM, EDP Sciences, 2008

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