La SDL (Spectrométrie à Décharge Luminescente) est une technique bien connue pourl’analyse élémentaire et le suivi de profils en profondeur des métaux, mais son prix rendbien souvent inabordable son utilisation pour le contrôle des procédés de traitementthermique. HORIBA Scientific a conçu un instrument de Spectrométrie à DéchargeLuminescente – le GD-PROFILER HTP – dédié au contrôle des procédés de traitement thermiqueet proposé à un prix accessible. Ce GD-PROFILER HTP donne les profils en profondeur de C,N (et O) et des autres éléments permettant de valider le traitement thermique effectué, ildonne aussi très rapidement la composition complète des matériaux avant traitement,permettant de contrôler l’alliage reçu. En raison de la durée rapide d’analyse (quelquesminutes), le GD-PROFILER HTP est l’outil de choix pour repérer les écarts au procédénominal et apporter les corrections nécessaires. Des exemples pratiques seront présentésmontrant l’utilisation du GD PROFILER HTP pour le : – contrôle des matériaux entrants; –contrôle des produits finaux, après traitement thermique; – contrôle du procédé detraitement thermique.

The depth profile of thin film layers on bulk substrate, avoiding the cross-sectioning of samples, is commonly performed by techniques such as X-ray photoelectron spectroscopy (XPS), Auger electron spectroscopy (AES), and secondary ion mass spectroscopy (SIMS). Techniques based on X-ray emission intensity measurements by energy dispersive spectroscopy (EDS), with conventional matrix or ZAF correction, are normally applied to cross-sectioned samples. This article compares XPS with surface X-ray intensity measurements by EDS, carried out with a more realistic X-ray generation and absorption model, known as the ϕ(ρ Z) model. The ϕ(ρ Z) approach has been adopted together with Monte Carlo simulation for the proper selection of SEM accelerating voltages, in conjunction with the analysis of SEM morphological images for thin film density correction. The method discussed hereafter and compared with the XPS technique, has advantages of higher lateral resolution, non-destructive elemental analyses, morphological visualization, low cost, and faster performance. This methodology has been followed to verify the layered structure of SnO2/metal-based gas sensors. X-ray intensities were measured using an EDS ultra-thin window detector. Two different porous layers, 25-nm thick of SnO2 and 10-nm thick of Cu, were detected, showing better agreement with their nominal thickness compared to results obtained using XPS measurements where porosity affects XPS data. If confirmed to be reliable and as effective as XPS depth profiling, this technique may be adopted for process quality control purposes.